第588章 自主

          周瑜剛好在和一個實驗室的團隊討論技術。

          “基于穩態微聚束原理,能獲得高功率、高重頻、窄帶寬的相干輻射光,波長可覆蓋從太赫茲到極紫外波段,其中就包括了極深紫外線光刻機所需要的13.5納米波長的EUV光。

          其實這個技術,咱們也不是唯一在搞研究的,青木大學有一位博士就有在研究這個技術,只不過他們并沒有專門向半導體光刻膠的光源方向上發展,而是在做理論研究和多方向的探索。

          只不過穩態微聚束光源的潛在應用之一就是作為未來EUV光刻機的光源,因為咱們是專研,所以咱們目前的研究進度或許要比他們更前進一點。”

          對于這點,周瑜倒是并沒有再開玩笑。

          因為根據前世的記憶,他知道這個教授的團隊與德國的合作團隊,大概要等到大夏陰歷2020年之后,才會在《自然》雜志上發表了《穩態微聚束原理的實驗演示》,報告穩態微聚束的首個原理驗證實驗。

          八年之后才會發表,現在對方可能連大型實驗項目的規劃都還沒有出來。

          怎么和他這個開卷寫答案的進度比較?

          而后,就得知了這位鄒王振教授已經到了研究大樓的信息。

          于是,在鄒王振教授們“歷經了千辛萬苦”之后,這才是見到了正主。

          周瑜與李賢審兩人,帶著幾位半導體工程師,在研究樓與其見面。

          在相互介紹之后,鄒王振教授握著周瑜的右手,主動問道。“周董事長,貴公司對穩態微聚束技術怎么看?”

          面對這個問題,雖然周瑜也可以讓最新招聘到的光學教授和其他工程師們來回答,但是在看到面前老人眼中的光亮時,他選擇了自己回應。

          看了看四周,沒有額外人員,他微笑著對這位教授回道:“相比于目前阿斯麥公司的光刻機所使用的極紫外光技術,咱們的光學團隊都一致認為穩態微聚束是一種更理想的光源,原因在于后者具有更高的平均功率、更高的芯片產量,以及更低的單位成本。

          利用激光等離子體產生極紫外光源,將強激光脈沖投射到液態錫滴上。

          激光會粉碎液態錫滴,在撞擊過程中產生極紫外脈沖光,并在經過復雜的濾波和聚焦后,產生功率約250瓦的極紫外光源。

          而在到達芯片之前,這極紫外光束要經過11個鏡子的反射,每個鏡子都會損失30%的能量,因此光束到達晶圓時的功率小于五瓦。

          雖然現在看這個光源制造十納米制程的芯片,可以說是手到擒來,只要技術規格和設備精度達到了,很快就能夠制造出來。

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